Silicon processing for the vlsi era, vol. 2. Process integration / Wolf, Stanley (1990)

Silicon processing for the vlsi era, vol. 2. Process integration [texte imprimé] / Wolf, Stanley, Auteur . - Lattice Press, 1990 . - xxxi-753 p. : ill. ; 25 cm.
Bibliogr.-Index
Langues : Anglais (eng)

Mots-clés :	Microélectronique Circuits intégrés à très grande échelle Silicium
Index. décimale :	621.3.049.77 Micro-électronique.Circuits intégrés.
Note de contenu :	Sommair *Process Integration for VLSI and ULSI *Isolation Technologies for Integrated Circuits *Contact technology and lacal interconnects for VLSI *Multilevel interconnect technology for VLSI and ULSI *Mos devices and nmos process integration *CMOS process integration *Bipolar and BICMOS process integration *Semiconductor memory process inegration *Process simulation