Silicon processing for the vlsi era, vol 3. The submicron mosfet / Wolf, Stanley (1995)

Silicon processing for the vlsi era, vol 3. The submicron mosfet [texte imprimé] / Wolf, Stanley, Auteur . - Lattice Press, 1995 . - XXII-722 p. : ill. ; 24 cm.
ISBN : 978-0-9616721-5-7
Bibliogr. Index
Langues : Anglais (eng)

Mots-clés :	Electrotechnique silicium intégration circuits intégrés
Index. décimale :	621.3.049.77 Micro-électronique.Circuits intégrés.
Résumé :	Volume 3: The Submicron MOSFET. Treats the topics of submicron MOSFET device physics and the relationship between such device physics and submicron MOSFET fabrication. DLC: Integrated circuits -Very large scale.
Note de contenu :	Contents *Role of process & device models in microelectronics technology *Numerical methods for solving the partial differential equations which model submicron devices and processes *Basic MOS physics & MOS capacitors *Long-channel MOSFETs *The submicron MOSFET *Isolation Structures in CMOS *Thin gate oxides: growth & reliability *Well formation in CMOS *Hot-carrier resistant processing & device structures
ISBN 13 :	978-0961672157