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Chimie en microélectronique

Public ISBD Titre : Chimie en microélectronique Type de document : texte imprimé Auteurs : Yannick Le Tiec, Directeur de publication, rédacteur en chef Editeur : Paris : Hermès Science Année de publication : 2013 Autre Editeur : Paris : Lavoisier Collection : Recherche, technologie, applications Sous-collection : Micro et nano électronique et systèmes Importance : 384 p. Présentation : ill. Format : 24 cm ISBN/ISSN/EAN : 978-2-7462-3918-0 Note générale : Bibliogr. en fin de chapitres. - Index Langues : Français (fre) Mots-clés : Microélectronique  --  Chimie Nitruration Traitements  de  surface  --  Chimie Chimie  des  surfaces Microélectronique  --  Matériaux Détecteurs  de  produits  chimiques Biocapteurs Procédés  de  fabrication Transistors Index. décimale : 621.3.049.77 Micro-électronique.Circuits intégrés. Résumé : La microélectronique est un monde complexe dans lequel plusieurs sciences comme la physique, l’électronique, l’optique ou la mécanique, contribuent à créer des nano-objets fonctionnels. La chimie est particulièrement impliquée dans de nombreux domaines tels que la synthèse des matériaux, la pureté des fluides, des gaz, des sels, le suivi des réactions chimiques et de leurs équilibres ainsi que la préparation de surfaces optimisées et la gravure sélective de couches spécifiques. Au cours des dernières décennies, la taille des transistors s’est considérablement réduite et la fonctionnalité des circuits électroniques s’est accrue. Cette évolution a conduit à une interpénétration de la chimie et de la microélectronique exposée dans cet ouvrage. Chimie en microélectronique présente les chimies et les séquences utilisées lors des procédés de production de la microélectronique, des nettoyages jusqu’aux gravures des plaquettes de silicium, du rôle et de l’impact de leur niveau de pureté jusqu’aux procédés d’interconnexion des millions de transistors composant un circuit électronique. Afin d’illustrer la convergence avec le domaine de la santé, l’ouvrage expose les nouvelles fonctionnalisations spécifiques, tels que les capteurs biologiques ou les capteurs sur la personne. Note de contenu : Au sommaire : 1. La chimie en Front End Of the Line (FEOL) : dépôts, empilements de grilles, épitaxies et contacts. 2. La chimie dans les interconnexions. 3. Chimie de la préparation des surfaces par voie humide : nettoyage, attaque chimique et séchage. 4. Utilisation et gestion des fluides chimiques en microélectronique. 5. Fonctionnalisation des surfaces pour micros et nanosystèmes: 6. application pour capteurs chimiques et biologiques. Chimie en microélectronique [texte imprimé] / Yannick Le Tiec, Directeur de publication, rédacteur en chef . - Hermès Science : Paris : Lavoisier, 2013 . - 384 p. : ill. ; 24 cm. - (Recherche, technologie, applications. Micro et nano électronique et systèmes) . ISBN : 978-2-7462-3918-0 Bibliogr. en fin de chapitres. - Index Langues : Français (fre) Mots-clés : Microélectronique  --  Chimie Nitruration Traitements  de  surface  --  Chimie Chimie  des  surfaces Microélectronique  --  Matériaux Détecteurs  de  produits  chimiques Biocapteurs Procédés  de  fabrication Transistors Index. décimale : 621.3.049.77 Micro-électronique.Circuits intégrés. Résumé : La microélectronique est un monde complexe dans lequel plusieurs sciences comme la physique, l’électronique, l’optique ou la mécanique, contribuent à créer des nano-objets fonctionnels. La chimie est particulièrement impliquée dans de nombreux domaines tels que la synthèse des matériaux, la pureté des fluides, des gaz, des sels, le suivi des réactions chimiques et de leurs équilibres ainsi que la préparation de surfaces optimisées et la gravure sélective de couches spécifiques. Au cours des dernières décennies, la taille des transistors s’est considérablement réduite et la fonctionnalité des circuits électroniques s’est accrue. Cette évolution a conduit à une interpénétration de la chimie et de la microélectronique exposée dans cet ouvrage. Chimie en microélectronique présente les chimies et les séquences utilisées lors des procédés de production de la microélectronique, des nettoyages jusqu’aux gravures des plaquettes de silicium, du rôle et de l’impact de leur niveau de pureté jusqu’aux procédés d’interconnexion des millions de transistors composant un circuit électronique. Afin d’illustrer la convergence avec le domaine de la santé, l’ouvrage expose les nouvelles fonctionnalisations spécifiques, tels que les capteurs biologiques ou les capteurs sur la personne. Note de contenu : Au sommaire : 1. La chimie en Front End Of the Line (FEOL) : dépôts, empilements de grilles, épitaxies et contacts. 2. La chimie dans les interconnexions. 3. Chimie de la préparation des surfaces par voie humide : nettoyage, attaque chimique et séchage. 4. Utilisation et gestion des fluides chimiques en microélectronique. 5. Fonctionnalisation des surfaces pour micros et nanosystèmes: 6. application pour capteurs chimiques et biologiques.

Exemplaires

Code-barres	Cote	Support	Localisation	Section	Disponibilité	Etat_Exemplaire
055546	621.3.049.77 CHI	Papier	Bibliothèque Centrale	Electronique	Disponible	Consultation sur place
055545	621.3.049.77 CHI	Papier	Bibliothèque Centrale	Electronique	Disponible	En bon état