| Titre : |
Dispositifs et physique des microsystèmes sur silicium |
| Type de document : |
texte imprimé |
| Auteurs : |
Salvador Mir, Directeur de publication |
| Editeur : |
Paris : Hermes Science Publications |
| Année de publication : |
2002 |
| Autre Editeur : |
Paris : Hermes Science Publications |
| Collection : |
Traité EGEM |
| Sous-collection : |
Electronique et micro-électronique |
| Importance : |
224 p. |
| Présentation : |
ill. |
| Format : |
24 cm |
| ISBN/ISSN/EAN : |
978-2-7462-0507-9 |
| Note générale : |
Bibliogr. Index |
| Langues : |
Français (fre) |
| Mots-clés : |
Microtechniques
Microélectronique
Silicium -- Substrats |
| Index. décimale : |
621.31 Production, approvisionnement et contrôle de l'électricité. Machines et appareils électriques. Mesure électrique. Magnétisme et électrostatique appliquées. |
| Résumé : |
Présente les principales applications de ces microsystèmes. Ils sont classés, suivant le domaine d'énergie des signaux considérés, en tant que micro-dispositifs mécaniques, thermiques, magnétiques, chimiques ou de rayonnement. |
| Note de contenu : |
*Les microsystèmes électro-mécaniques
*Les microsystèmes thermiques
*Les capteurs magnétiques en technologies microsystèmes
*Les MOEMS et les imageurs CMOS -Sergio Martinez
*Les capteurs chimiques en technologies microsystèmes
*Perspectives des microsystèmes sur silicium |
Dispositifs et physique des microsystèmes sur silicium [texte imprimé] / Salvador Mir, Directeur de publication . - Paris : Hermes Science Publications : Paris : Hermes Science Publications, 2002 . - 224 p. : ill. ; 24 cm. - ( Traité EGEM. Electronique et micro-électronique) . ISBN : 978-2-7462-0507-9 Bibliogr. Index Langues : Français ( fre)
| Mots-clés : |
Microtechniques
Microélectronique
Silicium -- Substrats |
| Index. décimale : |
621.31 Production, approvisionnement et contrôle de l'électricité. Machines et appareils électriques. Mesure électrique. Magnétisme et électrostatique appliquées. |
| Résumé : |
Présente les principales applications de ces microsystèmes. Ils sont classés, suivant le domaine d'énergie des signaux considérés, en tant que micro-dispositifs mécaniques, thermiques, magnétiques, chimiques ou de rayonnement. |
| Note de contenu : |
*Les microsystèmes électro-mécaniques
*Les microsystèmes thermiques
*Les capteurs magnétiques en technologies microsystèmes
*Les MOEMS et les imageurs CMOS -Sergio Martinez
*Les capteurs chimiques en technologies microsystèmes
*Perspectives des microsystèmes sur silicium |
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Dispositifs et physique des microsystèmes sur silicium (2002)
