| Titre : | Dispositifs et physique des microsystèmes sur silicium |
| Auteurs : | Salvador Mir, Directeur de publication |
| Type de document : | texte imprimé |
| Editeur : | Paris : Hermes Science Publications, 2002 |
| Autre Editeur : | Paris : Hermes Science Publications |
| Collection : | Traité EGEM |
| Sous-collection : | Electronique et micro-électronique |
| ISBN/ISSN/EAN : | 978-2-7462-0507-9 |
| Format : | 224 p. / ill. / 24 cm |
| Note générale : | Bibliogr. Index |
| Langues : | Français |
| Index. décimale : | 621.31 (Production, approvisionnement et contrôle de l'électricité. Machines et appareils électriques. Mesure électrique. Magnétisme et électrostatique appliquées.) |
| Tags : | Microtechniques Microélectronique Silicium -- Substrats |
| Résumé : | Présente les principales applications de ces microsystèmes. Ils sont classés, suivant le domaine d'énergie des signaux considérés, en tant que micro-dispositifs mécaniques, thermiques, magnétiques, chimiques ou de rayonnement. |
| Note de contenu : |
*Les microsystèmes électro-mécaniques *Les microsystèmes thermiques *Les capteurs magnétiques en technologies microsystèmes *Les MOEMS et les imageurs CMOS -Sergio Martinez *Les capteurs chimiques en technologies microsystèmes *Perspectives des microsystèmes sur silicium |
Exemplaires (1)
| Cote | Support | Localisation | Section | Disponibilité | Etat_Exemplaire |
|---|---|---|---|---|---|
| 621.31 DIS | Papier | Bibliothèque Centrale | Electronique | Disponible |
