| Titre : | Conception de microsystèmes sur silicium |
| Auteurs : | Salvador Mir, Directeur de publication |
| Type de document : | texte imprimé |
| Editeur : | Paris : Hermes Science Publications, 2002 |
| Autre Editeur : | Paris : Hermes Science Publications |
| Collection : | Traité EGEM |
| Sous-collection : | Electronique et micro-électronique |
| ISBN/ISSN/EAN : | 978-2-7462-0506-2 |
| Format : | 224 p. / ill. / 24 cm |
| Note générale : | Bibliogr. Index |
| Langues : | Français |
| Index. décimale : | 621.3 (Ingénierie électrique ) |
| Tags : | Microtechniques Microélectronique Silicium -- Substrats |
| Résumé : | Cet ouvrage traite des microsystèmes sur silicum et leur conception. Ces dispositifs, intégrés aux circuits numériques, donnent une dimension nouvelle au systèmes mono puce en ajoutant des fonctionnalités à leur interface avec le monde réel. Présente les dispositifs et les techniques pour leur conception et leur fabrication. |
| Note de contenu : |
*Introduction aux microsystèmes sur silicium *Les domaines d'applications des microsystèmes *Les technologies de fabrication des microsystèmes *La modélisation des microsystèmes électromécaniques *La CAO des microsystèmes *Les interfaces micro-électroniques |
Exemplaires (1)
| Cote | Support | Localisation | Section | Disponibilité | Etat_Exemplaire |
|---|---|---|---|---|---|
| 621.3 CON | Papier | Bibliothèque Centrale | Electronique | Disponible |
