| Titre : | Chimie en microélectronique |
| Auteurs : | Yannick Le Tiec, Directeur de publication |
| Type de document : | texte imprimé |
| Editeur : | Paris : Hermes Science Publications, 2013 |
| Autre Editeur : | Paris : Hermes Science Publications |
| Collection : | Recherche, technologie, applications, ISSN 2111-0360 |
| Sous-collection : | Micro et nano électronique et systèmes |
| ISBN/ISSN/EAN : | 978-2-7462-3918-0 |
| Format : | 384 p. / ill. / 24 cm |
| Note générale : | Bibliogr. en fin de chapitres. - Index |
| Langues : | Français |
| Index. décimale : | 621.3.049.77 (Micro-électronique.Circuits intégrés.) |
| Tags : | Microélectronique -- Chimie Nitruration Traitements de surface -- Chimie Chimie des surfaces Microélectronique -- Matériaux Détecteurs de produits chimiques Biocapteurs Procédés de fabrication Transistors |
| Résumé : |
La microélectronique est un monde complexe dans lequel plusieurs sciences comme la physique, l’électronique, l’optique ou la mécanique, contribuent à créer des nano-objets fonctionnels. La chimie est particulièrement impliquée dans de nombreux domaines tels que la synthèse des matériaux, la pureté des fluides, des gaz, des sels, le suivi des réactions chimiques et de leurs équilibres ainsi que la préparation de surfaces optimisées et la gravure sélective de couches spécifiques. Au cours des dernières décennies, la taille des transistors s’est considérablement réduite et la fonctionnalité des circuits électroniques s’est accrue. Cette évolution a conduit à une interpénétration de la chimie et de la microélectronique exposée dans cet ouvrage. Chimie en microélectronique présente les chimies et les séquences utilisées lors des procédés de production de la microélectronique, des nettoyages jusqu’aux gravures des plaquettes de silicium, du rôle et de l’impact de leur niveau de pureté jusqu’aux procédés d’interconnexion des millions de transistors composant un circuit électronique. Afin d’illustrer la convergence avec le domaine de la santé, l’ouvrage expose les nouvelles fonctionnalisations spécifiques, tels que les capteurs biologiques ou les capteurs sur la personne. |
| Note de contenu : |
Au sommaire :
1. La chimie en Front End Of the Line (FEOL) : dépôts, empilements de grilles, épitaxies et contacts. 2. La chimie dans les interconnexions. 3. Chimie de la préparation des surfaces par voie humide : nettoyage, attaque chimique et séchage. 4. Utilisation et gestion des fluides chimiques en microélectronique. 5. Fonctionnalisation des surfaces pour micros et nanosystèmes: 6. application pour capteurs chimiques et biologiques. |
Exemplaires (2)
| Cote | Support | Localisation | Section | Disponibilité | Etat_Exemplaire |
|---|---|---|---|---|---|
| 621.3.049.77 CHI | Papier | Bibliothèque Centrale | Electronique | Disponible | Consultation sur place |
| 621.3.049.77 CHI | Papier | Bibliothèque Centrale | Electronique | Disponible | En bon état |
