| Titre : | Diélectriques ferroélectriques intégrés sur silicium |
| Auteurs : | Emmanuel Defaÿ, Directeur de publication |
| Type de document : | texte imprimé |
| Editeur : | Paris : Hermes Science Publications, 2011 |
| Autre Editeur : | Paris : Hermes Science Publications |
| Collection : | Traité EGEM |
| Sous-collection : | Electronique et micro-électronique |
| ISBN/ISSN/EAN : | 978-2-7462-2562-6 |
| Format : | 455 p. / ill. / 24 cm |
| Note générale : | Bibliogr. - Index |
| Langues : | Français |
| Index. décimale : | 537.226 (Propriétés électriques des diélectriques) |
| Tags : | Matériaux piézoélectriques Diélectriques Résonateurs électriques ferroélectriques |
| Résumé : | Ce livre est dédié à l'intégration des matériaux diélectriques ferroélectriques dans la technologie silicium. Il s'agit principalement de matériaux issus de la famille des matériaux pérovskites qui présentent des propriétés électriques remarquables : permittivité diélectrique très élevée, effet mémoire (ferroélectricité), piézoélectricité, électrostriction. Bien que ces matériaux soient bien maîtrisés à l'état de céramique, les couches minces et notamment celles sur le silicium, le sont beaucoup moins. Ces dix dernières années ont vu une progression technologique sans précédent quant à l'intégration de ces matériaux diélectriques sur le silicium et notamment pour les microsystèmes. Diélectriques ferroélectriques intégrés sur silicium est ainsi dédié à la description de ces matériaux à travers un traitement thermodynamique particulièrement développé pour le cas des couches minces, les technologies mises en jeu pour arriver à les synthétiser, les caractérisations spécifiques utilisées et finalement, la description de plusieurs réalisations technologies abouties |
| Note de contenu : |
Au sommaire:
1. L'approche thermodynamique. 2. Effet des contraintes sur les couches minces. 3. Technologies de dépôts et mise en forme. 4. Analyse par diffraction des rayons X de films minces polycristallins. 5. Caractérisation physico-chimique et électrique. 6. Caractérisation radio-fréquence. 7. Courants de fuite dans les condensateurs PZT. 8. Capacités intégrées. 9. Fiabilité des condensateurs PZT. 10. Capacités variables ferroélectriques. |
Exemplaires (1)
| Cote | Support | Localisation | Section | Disponibilité | Etat_Exemplaire |
|---|---|---|---|---|---|
| 537.226 DIE | Papier | Bibliothèque Centrale | Electronique | Disponible | Consultation sur place |
