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Multicomponent and multilayered thin films for advanced microtechnologies : techniques, fundamentals and devices

Orlando Auciello, Éditeur scientifique ; Jurgen Engemann, Éditeur scientifique ; NATO Advanced Study Institute, Éditeur scientifique | Boston : Kluwer academic publishers | NATO ASI series | 1993

The synthesis of multicomponent/multilayered superconducting, conducting, semiconducting and insulating thin films has become the subject of an intensive, worldwide, interdisciplinary research effort. The development of deposition-characterizati[...]

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