| Titre : | Handbook of semiconductor wafer cleaning technology : science, technology, and applications |
| Auteurs : | Werner Kern, Éditeur scientifique |
| Type de document : | texte imprimé |
| Editeur : | New Jersey : Noyes publications, 1993 |
| Collection : | Materials science and process technology series |
| ISBN/ISSN/EAN : | 978-0-8155-1331-5 |
| Format : | XX-623 p. / ill. / 24 cm |
| Note générale : | Bibliogr. p. 607-610. Index |
| Langues : | Anglais |
| Index. décimale : | 621.382(035) (Dispositifs électroniques utilisant les effets des corps solides. Dispositifs semi-conducteurs. (Handbook)) |
| Tags : | Semiconductor wafers -- Cleaning Semiconducteurs -- Entretien |
| Résumé : |
This book brings together into one volume all pertinent knowledge on semiconductor wafer cleaning and the scientific and technical disciplines associated directly or indirectly with this subject. The book provides the first comprehensive and up-to-date co. |
| Note de contenu : |
Sommaire
* Introduction and overview. * Wet-chemical processes. * Dry cleaning processes. * Analytical and control aspects. * Conclusions and future directions. |
Exemplaires (1)
| Cote | Support | Localisation | Section | Disponibilité | Etat_Exemplaire |
|---|---|---|---|---|---|
| 621.382(035) HAN | Papier | Bibliothèque Centrale | Electronique | Disponible | En bon état |
