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Diélectriques ferroélectriques intégrés sur silicium / Emmanuel Defaÿ

Public ISBD Titre : Diélectriques ferroélectriques intégrés sur silicium Type de document : texte imprimé Auteurs : Emmanuel Defaÿ, Directeur de publication, rédacteur en chef Editeur : Paris : Hermès Science Année de publication : 2011 Autre Editeur : Paris : Lavoisier Collection : Traité EGEM Sous-collection : Electronique et micro-électronique Importance : 455 p. Présentation : ill. Format : 24 cm ISBN/ISSN/EAN : 978-2-7462-2562-6 Note générale : Bibliogr. - Index Langues : Français (fre) Mots-clés : Matériaux  piézoélectriques  Diélectriques Résonateurs  électriques ferroélectriques Index. décimale : 537.226 Propriétés électriques des diélectriques Résumé : Ce livre est dédié à l'intégration des matériaux diélectriques ferroélectriques dans la technologie silicium. Il s'agit principalement de matériaux issus de la famille des matériaux pérovskites qui présentent des propriétés électriques remarquables : permittivité diélectrique très élevée, effet mémoire (ferroélectricité), piézoélectricité, électrostriction. Bien que ces matériaux soient bien maîtrisés à l'état de céramique, les couches minces et notamment celles sur le silicium, le sont beaucoup moins. Ces dix dernières années ont vu une progression technologique sans précédent quant à l'intégration de ces matériaux diélectriques sur le silicium et notamment pour les microsystèmes. Diélectriques ferroélectriques intégrés sur silicium est ainsi dédié à la description de ces matériaux à travers un traitement thermodynamique particulièrement développé pour le cas des couches minces, les technologies mises en jeu pour arriver à les synthétiser, les caractérisations spécifiques utilisées et finalement, la description de plusieurs réalisations technologies abouties Note de contenu : Au sommaire: 1. L'approche thermodynamique. 2. Effet des contraintes sur les couches minces. 3. Technologies de dépôts et mise en forme. 4. Analyse par diffraction des rayons X de films minces polycristallins. 5. Caractérisation physico-chimique et électrique. 6. Caractérisation radio-fréquence. 7. Courants de fuite dans les condensateurs PZT. 8. Capacités intégrées. 9. Fiabilité des condensateurs PZT. 10. Capacités variables ferroélectriques. Diélectriques ferroélectriques intégrés sur silicium [texte imprimé] / Emmanuel Defaÿ, Directeur de publication, rédacteur en chef . - Hermès Science : Paris : Lavoisier, 2011 . - 455 p. : ill. ; 24 cm. - (Traité EGEM. Electronique et micro-électronique) . ISBN : 978-2-7462-2562-6 Bibliogr. - Index Langues : Français (fre) Mots-clés : Matériaux  piézoélectriques  Diélectriques Résonateurs  électriques ferroélectriques Index. décimale : 537.226 Propriétés électriques des diélectriques Résumé : Ce livre est dédié à l'intégration des matériaux diélectriques ferroélectriques dans la technologie silicium. Il s'agit principalement de matériaux issus de la famille des matériaux pérovskites qui présentent des propriétés électriques remarquables : permittivité diélectrique très élevée, effet mémoire (ferroélectricité), piézoélectricité, électrostriction. Bien que ces matériaux soient bien maîtrisés à l'état de céramique, les couches minces et notamment celles sur le silicium, le sont beaucoup moins. Ces dix dernières années ont vu une progression technologique sans précédent quant à l'intégration de ces matériaux diélectriques sur le silicium et notamment pour les microsystèmes. Diélectriques ferroélectriques intégrés sur silicium est ainsi dédié à la description de ces matériaux à travers un traitement thermodynamique particulièrement développé pour le cas des couches minces, les technologies mises en jeu pour arriver à les synthétiser, les caractérisations spécifiques utilisées et finalement, la description de plusieurs réalisations technologies abouties Note de contenu : Au sommaire: 1. L'approche thermodynamique. 2. Effet des contraintes sur les couches minces. 3. Technologies de dépôts et mise en forme. 4. Analyse par diffraction des rayons X de films minces polycristallins. 5. Caractérisation physico-chimique et électrique. 6. Caractérisation radio-fréquence. 7. Courants de fuite dans les condensateurs PZT. 8. Capacités intégrées. 9. Fiabilité des condensateurs PZT. 10. Capacités variables ferroélectriques.

Exemplaires

Code-barres	Cote	Support	Localisation	Section	Disponibilité	Etat_Exemplaire
054221	537.226 DIE	Papier	Bibliothèque Centrale	Electronique	Disponible	Consultation sur place