| Titre : |
Diélectriques ferroélectriques intégrés sur silicium |
| Type de document : |
texte imprimé |
| Auteurs : |
Emmanuel Defaÿ, Directeur de publication |
| Editeur : |
Paris : Hermes Science Publications |
| Année de publication : |
2011 |
| Autre Editeur : |
Paris : Hermes Science Publications |
| Collection : |
Traité EGEM |
| Sous-collection : |
Electronique et micro-électronique |
| Importance : |
455 p. |
| Présentation : |
ill. |
| Format : |
24 cm |
| ISBN/ISSN/EAN : |
978-2-7462-2562-6 |
| Note générale : |
Bibliogr. - Index |
| Langues : |
Français (fre) |
| Mots-clés : |
Matériaux piézoélectriques Diélectriques
Résonateurs électriques
ferroélectriques |
| Index. décimale : |
537.226 Propriétés électriques des diélectriques |
| Résumé : |
Ce livre est dédié à l'intégration des matériaux diélectriques ferroélectriques dans la technologie silicium. Il s'agit principalement de matériaux issus de la famille des matériaux pérovskites qui présentent des propriétés électriques remarquables : permittivité diélectrique très élevée, effet mémoire (ferroélectricité), piézoélectricité, électrostriction. Bien que ces matériaux soient bien maîtrisés à l'état de céramique, les couches minces et notamment celles sur le silicium, le sont beaucoup moins. Ces dix dernières années ont vu une progression technologique sans précédent quant à l'intégration de ces matériaux diélectriques sur le silicium et notamment pour les microsystèmes. Diélectriques ferroélectriques intégrés sur silicium est ainsi dédié à la description de ces matériaux à travers un traitement thermodynamique particulièrement développé pour le cas des couches minces, les technologies mises en jeu pour arriver à les synthétiser, les caractérisations spécifiques utilisées et finalement, la description de plusieurs réalisations technologies abouties |
| Note de contenu : |
Au sommaire:
1. L'approche thermodynamique.
2. Effet des contraintes sur les couches minces.
3. Technologies de dépôts et mise en forme.
4. Analyse par diffraction des rayons X de films minces polycristallins.
5. Caractérisation physico-chimique et électrique.
6. Caractérisation radio-fréquence.
7. Courants de fuite dans les condensateurs PZT.
8. Capacités intégrées.
9. Fiabilité des condensateurs PZT.
10. Capacités variables ferroélectriques. |
Diélectriques ferroélectriques intégrés sur silicium [texte imprimé] / Emmanuel Defaÿ, Directeur de publication . - Paris : Hermes Science Publications : Paris : Hermes Science Publications, 2011 . - 455 p. : ill. ; 24 cm. - ( Traité EGEM. Electronique et micro-électronique) . ISBN : 978-2-7462-2562-6 Bibliogr. - Index Langues : Français ( fre)
| Mots-clés : |
Matériaux piézoélectriques Diélectriques
Résonateurs électriques
ferroélectriques |
| Index. décimale : |
537.226 Propriétés électriques des diélectriques |
| Résumé : |
Ce livre est dédié à l'intégration des matériaux diélectriques ferroélectriques dans la technologie silicium. Il s'agit principalement de matériaux issus de la famille des matériaux pérovskites qui présentent des propriétés électriques remarquables : permittivité diélectrique très élevée, effet mémoire (ferroélectricité), piézoélectricité, électrostriction. Bien que ces matériaux soient bien maîtrisés à l'état de céramique, les couches minces et notamment celles sur le silicium, le sont beaucoup moins. Ces dix dernières années ont vu une progression technologique sans précédent quant à l'intégration de ces matériaux diélectriques sur le silicium et notamment pour les microsystèmes. Diélectriques ferroélectriques intégrés sur silicium est ainsi dédié à la description de ces matériaux à travers un traitement thermodynamique particulièrement développé pour le cas des couches minces, les technologies mises en jeu pour arriver à les synthétiser, les caractérisations spécifiques utilisées et finalement, la description de plusieurs réalisations technologies abouties |
| Note de contenu : |
Au sommaire:
1. L'approche thermodynamique.
2. Effet des contraintes sur les couches minces.
3. Technologies de dépôts et mise en forme.
4. Analyse par diffraction des rayons X de films minces polycristallins.
5. Caractérisation physico-chimique et électrique.
6. Caractérisation radio-fréquence.
7. Courants de fuite dans les condensateurs PZT.
8. Capacités intégrées.
9. Fiabilité des condensateurs PZT.
10. Capacités variables ferroélectriques. |
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