| Titre de série : |
Silicon processing for the vlsi era, vol. 2 |
| Titre : |
Process integration |
| Type de document : |
texte imprimé |
| Auteurs : |
Wolf, Stanley, Auteur |
| Editeur : |
Lattice Press |
| Année de publication : |
1990 |
| Importance : |
xxxi-753 p. |
| Présentation : |
ill. |
| Format : |
25 cm |
| Note générale : |
Bibliogr.-Index |
| Langues : |
Anglais (eng) |
| Mots-clés : |
Microélectronique
Circuits intégrés à très grande échelle
Silicium |
| Index. décimale : |
621.3.049.77 Micro-électronique.Circuits intégrés. |
| Note de contenu : |
Sommair
*Process Integration for VLSI and ULSI
*Isolation Technologies for Integrated Circuits
*Contact technology and lacal interconnects for VLSI
*Multilevel interconnect technology for VLSI and ULSI
*Mos devices and nmos process integration
*CMOS process integration
*Bipolar and BICMOS process integration
*Semiconductor memory process inegration
*Process simulation |
Silicon processing for the vlsi era, vol. 2. Process integration [texte imprimé] / Wolf, Stanley, Auteur . - Lattice Press, 1990 . - xxxi-753 p. : ill. ; 25 cm. Bibliogr.-Index Langues : Anglais ( eng)
| Mots-clés : |
Microélectronique
Circuits intégrés à très grande échelle
Silicium |
| Index. décimale : |
621.3.049.77 Micro-électronique.Circuits intégrés. |
| Note de contenu : |
Sommair
*Process Integration for VLSI and ULSI
*Isolation Technologies for Integrated Circuits
*Contact technology and lacal interconnects for VLSI
*Multilevel interconnect technology for VLSI and ULSI
*Mos devices and nmos process integration
*CMOS process integration
*Bipolar and BICMOS process integration
*Semiconductor memory process inegration
*Process simulation |
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Silicon processing for the vlsi era, vol. 2. Process integration (1990)
