| Titre de série : |
Silicon processing for the vlsi era, vol 3 |
| Titre : |
The submicron mosfet |
| Type de document : |
texte imprimé |
| Auteurs : |
Wolf, Stanley, Auteur |
| Editeur : |
Lattice Press |
| Année de publication : |
1995 |
| Importance : |
XXII-722 p. |
| Présentation : |
ill. |
| Format : |
24 cm |
| ISBN/ISSN/EAN : |
978-0-9616721-5-7 |
| Note générale : |
Bibliogr. Index |
| Langues : |
Anglais (eng) |
| Mots-clés : |
Electrotechnique silicium intégration circuits intégrés |
| Index. décimale : |
621.3.049.77 Micro-électronique.Circuits intégrés. |
| Résumé : |
Volume 3: The Submicron MOSFET. Treats the topics of submicron MOSFET device physics and the relationship between such device physics and submicron MOSFET fabrication. DLC: Integrated circuits -Very large scale. |
| Note de contenu : |
Contents
*Role of process & device models in microelectronics technology
*Numerical methods for solving the partial differential equations which model submicron devices and processes
*Basic MOS physics & MOS capacitors
*Long-channel MOSFETs
*The submicron MOSFET
*Isolation Structures in CMOS
*Thin gate oxides: growth & reliability
*Well formation in CMOS
*Hot-carrier resistant processing & device structures |
| ISBN 13 : |
978-0961672157 |
Silicon processing for the vlsi era, vol 3. The submicron mosfet [texte imprimé] / Wolf, Stanley, Auteur . - Lattice Press, 1995 . - XXII-722 p. : ill. ; 24 cm. ISBN : 978-0-9616721-5-7 Bibliogr. Index Langues : Anglais ( eng)
| Mots-clés : |
Electrotechnique silicium intégration circuits intégrés |
| Index. décimale : |
621.3.049.77 Micro-électronique.Circuits intégrés. |
| Résumé : |
Volume 3: The Submicron MOSFET. Treats the topics of submicron MOSFET device physics and the relationship between such device physics and submicron MOSFET fabrication. DLC: Integrated circuits -Very large scale. |
| Note de contenu : |
Contents
*Role of process & device models in microelectronics technology
*Numerical methods for solving the partial differential equations which model submicron devices and processes
*Basic MOS physics & MOS capacitors
*Long-channel MOSFETs
*The submicron MOSFET
*Isolation Structures in CMOS
*Thin gate oxides: growth & reliability
*Well formation in CMOS
*Hot-carrier resistant processing & device structures |
| ISBN 13 : |
978-0961672157 |
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Silicon processing for the vlsi era, vol 3. The submicron mosfet (1995)
