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Precision sensors, actuators and systems

H.S. Tzou, Éditeur scientifique ; T. Fukuda, Éditeur scientifique | Boston : Kluwer academic publishers | Solid mechanics and its applications | 1992

Presents an overview of the technologies such as silicon based sensors/actuators and control piezoelectric micro sensors/actuators, micro actuation and control, micro sensor applications in robot control, optical fiber sensors/systems and more.

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